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为推动永利娱场城官网规则须知化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。天津华海清科机电科技永利娱场城官网规则须知是天津市政府与永利娱场城官网规则须知践行“京津冀一体化”永利娱场城官网规则须知战略，

华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自永利娱场城官网规则须知摩擦学永利娱场城官网规则须知重点实验室及业内专业人才。产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件，致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案，遵循“科技服务社会”的永利娱场城官网规则须知宗旨，持续进行以优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖。

Universal-300 Plus

可满足不同客户的工艺需求，采用多种成熟的关键技术，具备技术水平高、产量高、性能稳定、以及多单元、多工艺灵活组合等优点，Universal-300Plus 新型12英寸CMP设备，具有强大的市场竞争力。

Universal-300 Dual

拥有完全自主知识产权的新型12英寸CMP设备，Universal-300 Dual是根据市场需求， 采用Universal-300 Plus的成熟技术， 具备技术水平高、产量高、性能稳定、多工艺灵活组合等优点， 集成多种终点检测技术， 可以极大地满足不同客户的工艺需求， 具有极强的市场竞争力。

Universal-300

该机型技术含量高、性能稳定，Universal-300是永利娱场城官网规则须知首台进入大生产线的12”CMP设备。适用于集成电路制造、晶圆基片生产、CMP研磨材料研发和相关的科学研究。

Universal-200 Plus

拥有完全自主知识产权的新型8英寸C M P设备，Universal-200 Plus是根据市场需求，采用Universal-300 Plus的成熟设计，集成多种终点检测技术， 具有极强的市场竞争力。 具备技术水平高、产量高、性能稳定、多清洗单元、多工艺灵活组合等优点， 可以极大地满足不同客户的工艺需求，

CMP工艺开发服务

为企业和科研院所提供CMP工艺解决方案，拥有专业的技术团队、精准的测量分析仪器，可接受企业和科研院所委托CMP工艺开发服务，华海清科拥有自主研发的多系列高精密CMP抛光设备，满足其工艺指标要求。

 

CMP代工服务

华海清科拥有自主研发的多系列高精密CMP抛光设备，粗糙度，可以精确测量金属/非金属的膜厚，Dishing, Erosion等。可根据客户制程要求提供2英寸到-12英寸的定制化CMP代工服务。拥有专业的技术团队、完备的抛光加工车间和精准的测量分析仪器，

 

CMP代工范围包括：

1. Si/Oxide/W/Cu Patter wafer CMP代工服务；

2. TSV CMP代工服务；

3. Wafer reclaim CMP代工服务；

4. MEMS、蓝宝石、砷化镓等不同材质材料的CMP代工服务。

 

联络入口

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